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  • 产品名称：湖北供应半导体密封垫

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简单介绍：
详情介绍：
氟橡胶性能：
耐高温性：连续使用温度范围为-20℃至230℃，适应化学气相沉积（CVD）、蚀刻等高温工艺
化学稳定性：耐受强酸、强碱及有机溶剂，有效防止工艺气体泄漏
洁净度：低释气性（总质量损失＜1%）和极低离子析出量，避免晶圆污染
应用场景：常用于蚀刻设备、真空腔体等，成本较FFKM低，性价比高
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